平面电极型MEMS电化学地震传感器

摘要：

针对传统电化学地震传感器的加工工艺成本高、一致性差等问题,设计了一种新的平面电极型微机电系统(MEMS)电化学地震传感器结构.建立了平面电极型MEMS电化学地震传感器的计算模型,通过Comsol多场耦合数值模拟分析方法,对影响传感器的结构参数如:电极宽度、电极间距、流道高度等进行了计算和优化.采用MEMS表面工艺和准LIGA工艺,制备了平面电极型MEMS电化学地震传感器.最后,与采用传统方法精密加工的MET2003器件进行了频率响应和微震动的对比测试.实验结果表明:与MET2003器件相比,平面电极型MEMS电化学地震传感器的带宽从1 Hz扩展到了30 Hz,两种器件的采集结果具有很好的相关性和一致性,相关系数为0.887,在1 Hz处的噪声低于120 dB.

关键词：微机电系统、电化学地震传感器、平面电极、低频震动检测

所属期刊栏目：23

分类号：TP212.9;P315.62(自动化技术及设备)

资助基金：国家重大科学仪器设备开发专项资助项目2013YQ12035703;国家863高技术研究发展计划资助项目2014AA091508

在线出版日期：2015-05-13（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：769-775