箝位体刚度平衡对被动箝位压电驱动器性能的影响

摘要：

基于前期研制的被动箝位直线压电驱动器,研究了带有三角放大结构的箝位体的刚度平衡对其有效输出位移和驱动器性能的影响.实验和有限元仿真分析显示:刚度不平衡时,箝位体结构产生的偏转位移会导致三角放大结构水平输出位移降低,箝位体对导轨放松程度较小,驱动器性能较低.文中提出用增加刚度平衡板的方法使箝位压电叠堆两侧等效拉伸刚度相等,并利用有限元仿真确定了刚度平衡板尺寸.实施上述方法后的实验结果表明:增加刚度平衡板后,箝位体水平运动位移增加,从而提高了箝位体动态响应频率和箝位体对导轨的释放程度,显著提高了驱动器性能.刚度平衡后,驱动器动态响应频率为450 Hz,最大驱动力为7N,最大空载运行速度为1.49 mm/s.

关键词：压电蠕动驱动器、刚度平衡、箝拉体、压电驱动、三角放大

所属期刊栏目：23

分类号：TN384;TH703(半导体技术)

资助基金：国家自然科学基金资助项目50975057,51175104

在线出版日期：2015-05-13（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：738-744