基于压电陶瓷光电相移驱动的大行程纳米定位系统

摘要：

由于压电陶瓷驱动器作纳米定位控制系统驱动元件会导致定位过程中出现超调及振荡现象,故提出了一种新的基于外差干涉仪和自制高频相移电路的光电相移压电陶瓷驱动方法.实验论证了在严格控制的实验环境下,压电陶瓷能实现自主位置锁定并以纳米量级步距值被逐步推进.步距值可控的压电陶瓷驱动器与商用宏动平台结合,可实现纳米精度重复性的大行程定位系统.实验结果表明,对于5 mm往返行程的位移,在靠近目标处执行理论值为5nm步距值的步进位移时,系统的定位重复性精度小于1 nm.该定位方法规避了压电陶瓷的机械非线性误差,具有系统架构简单,定位速度快等优点,可应用于当前纳米科技和超精密加工等领域.

关键词：纳米定位系统、外差干涉仪、压电陶瓷执行器、高频相移电路、宏、微二级运动

所属期刊栏目：22

分类号：TN384;TP273(半导体技术)

资助基金：国家自然科学基金资助项目51105348,61203113;浙江省钱江人才计划资助项目2013R1066;第45批教育部留学回国启动基金

在线出版日期：2014-12-09（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：2773-2778