锆钛酸铅薄膜的生长与表征

摘要：

研究了如何利用溶胶凝胶法制备锆钛酸铅(Pb(Zrr,Ti1-x)O3,PZT)薄膜,并对该薄膜的进行了表征测试.根据分子式设计了溶液的成分及配比,配制溶液后旋涂于钛(Ti)及铂/钛(Pt/Ti)基底上.利用X射线衍射仪(XRD)和原子力显微镜(AFM)对不同热处理温度和不同退火温度的PZT薄膜的形貌、成分进行了表征测试.在此基础上,采用微机电系统(MEMS)工艺,开发了可用于测试PZT薄膜材料特性的工艺流程与测试样品.然后,利用标准铁电测试仪对不同热处理温度和不同退火温度的PZT薄膜的极化强度进行了铁电特性测试.结果表明,在400℃进行热处理,650℃进行退火的条件下制备出的PZT薄膜其成分和形貌比较好,铁电特性较优,能够应用于MEMS器件与纳米器件的制造中.

关键词：锆钛酸铅薄膜、热处理、退火、铁电特性、溶胶凝胶法

所属期刊栏目：21

分类号：O484.1(固体物理学)

资助基金：福建省自然科学基金资助项目E0610031;国家863高技术研究发展计划资助项目2007AA04Z330

在线出版日期：2013-12-06（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：2893-2899