Love波传感器的性能分析与实验

摘要：

为了制作高灵敏度Love波传感器,分析了Love波在ST-石英和二氧化硅薄膜分层结构中的传播特性,并对该分层结构进行了相关的理论推导和计算.首先,从声学动力学方程出发,分析求解了该分层结构的波动方程,得到了在该分层结构的色散关系及位移表达式.基于得到的解析表达式分析了波结构,绘制了特性曲线,得到了Love波在该结构中的传播特性.最后,应用MEMS工艺制作了由ST-石英为基底、二氧化硅为波导层的Love波传感器,并通过电化学微电铸的方法进行了实验验证,且对理论灵敏度与实验灵敏度之间不一致的原因进行了分析.测试数据显示,该传感器的质量灵敏度为100 cm2/g,最低检出限为3.65 ng,结果证明了该Love波传感器基本满足高灵敏度生化检测的要求.

关键词：Love波传感器、色散曲线、质量灵敏度、循环伏安法

所属期刊栏目：19

分类号：TP212.1(自动化技术及设备)

资助基金：国家自然科学基金资助项目608710438&60971025;江苏省科技支撑计划工业类资助项目BE2009060;中科院知识创新重要方向性资助项目KGCX2-YW-913-1;国家重点基金11034007

在线出版日期：2012-03-05（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：2457-2463