对准系统中调焦机构机械摆动引入误差的补偿

摘要：

为了消减压印对准系统焦平面调整过程中由于机构机械不稳定性产生的对准误差,提出了拟合调整架摆动轨迹来进行软件补偿的方法.通过亚像素模板匹配算法对调焦过程中标记图像的坐标进行定位运算并分析了算法的有效性,结果说明该算法的理论误差<0.1 μm.采用该算法计算随调整架摆动的标记坐标,对调整架的摆动轨迹进行了实验标定.分别考察调整架上升和下降时的摆动特性,结果显示,实验具有较好的重复性.以此为基础,建立了调整架的摆动轨迹模型及误差补偿方法,并对模型的预测补偿精度进行了实验研究.结果表明,通过预测调整架摆动轨迹并进行补偿,调焦系统机械不稳定性误差从2.84 μm减小到1.29 μm,可以满足2 μm的总体对准精度要求.

关键词：对准系统、调焦机构、机械摆动、对准误差、补偿、亚像素模板匹配

所属期刊栏目：19

分类号：TN305.7;TH741.14(半导体技术)

资助基金：国家自然科学基金资助项目50975225;中国博士后科学基金资助项目20100471614;西安理工大学博士科研启动基金资助项目102-211003

在线出版日期：2011-07-05（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：573-579