高能激光反射镜热变形补偿

摘要：

研制了一套由压电陶瓷驱动器、压力传感器、环状力施加机构和控制电路组成的反射镜动态热变形补偿系统用于补偿激光反射镜热变形球差.圆形反射镜在两个同轴不同半径的环形力作用下,其内环区域产生曲率可变的抛物面形变,由此补偿反射镜热变形带来的球差项.对镜体进行了有限元数值计算,建立了变形量与沉积热量与受力的关系.采用口径为100 mm,厚度为8 mm平面反射镜进行了受力-变形以及辐照-受力-变形实验,利用干涉仪对面型进行监测.研究表明,在不同推力作用下,有效区域内变形始终保持抛物面形.给出了推力-面型变化曲线,在225 N推力下,中心最大变形超过3 μm.在不同热沉积量下,镜体中心位移和受力保持线性关系,力-变形系数为0.013 μm/N.

关键词：高能量激光、反射镜、球差、热变形、热补偿

所属期刊栏目：18

分类号：TN243(光电子技术、激光技术)

资助基金：国家863高技术研究发展计划资助项目

在线出版日期：2010-10-29（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：1781-1787