利用Zernike系数对离轴三反射系统进行计算机辅助装调

摘要：

针对离轴三反光学系统检测和装调的复杂性,提出了一套结合了干涉测量技术的计算机辅助装调方法.采用多视场ZYGO干涉仪自准干涉检验各种失调量产生的残余像差,得到表征系统失调量引起残余像差的一系列Zernike系数,利用Zernike系数与Seidel像差系数之间的相关性将之转化为几何像差作为校正对象.由光学设计软件求得与系统失调量相关的灵敏度矩阵,并确定对残余像差影响最敏感的失调量.当失调量被确定后,将调整后的结果再次代入光学设计软件进行验证.多次迭代后,得到系统的RMS值<0.04λ的良好结果,证明了这种指导装调的方法是行之有效的.

关键词：离轴三反系统、计算机辅助装调、干涉检验、灵敏度矩阵

所属期刊栏目：18

分类号：V248.3;TP391.7(航空仪表、航空设备、飞行控制与导航)

资助基金：中国科学院三期创新工程资助项目

在线出版日期：2010-10-29（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：1754-1759