应用二维微硅片狭缝阵列的阿达玛光谱仪

摘要：

为了实现对微弱信号的光谱分析,采用Offner光学结构制作了高光通量高分辨率阿达玛光谱仪,并对光谱仪入射狭缝的类型选择进行分析.利用MEMS加工技术制作出阿达玛微硅片狭缝阵列,分析了入射狭缝的衍射现象,推导出衍射后的光强分布公式.采用Matlab软件对光强分布进行仿真,搭建了实验测量平台验证仿真结果.结果显示,在相同的条件下,阿达玛S15型狭缝阵列的光通量是阿达玛循环S15型狭缝阵列的1.45倍,推导得出的衍射光强分布公式正确,仿真方法准确,测试方法合理,表明阿达玛S型微硅片狭缝阵列适合本文设计的光谱仪.

关键词：阿达玛光谱仪、微硅片狭缝阵列、光通量、阿达玛S型狭缝阵列、阿达玛循环S型狭缝阵列

所属期刊栏目：17

分类号：TH744.1(仪器、仪表)

资助基金：国家863高技术研究发展计划资助项目2007AA042102;国家863高技术研究发展计划B项目2006AA04Z367;吉林省科技发展基金资助项目20060335

在线出版日期：2010-01-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：2724-2729