多通道柔性神经微电极加工工艺

摘要：

针对多通道柔性神经微电极的设计及制作,研究了微电极的加工工艺.采用一种新型的柔性聚合物材料--聚对二甲苯(parylene C)作为微电极的基底和绝缘材料,借助微细加工技术,制作了36通道(按6×6矩阵排列)的柔性神经微电极,微电极的尺寸分别为Φ150 μm(圆形)和150 μm×150 μm(方形),电极引线线宽为30 μm.无论微电极为圆形或方形,表面均平整光滑、轮廓清晰.电学性能测试结果表明,1 kHz时微电极的阻抗仅为7 kΩ左右,且随着频率的增加,阻抗逐渐降低,呈明显高通特性.微电极加工质量较好,电学性能优良,实现了微电极和柔性基底的集成,有利于高效率批量制作,为视觉假体中柔性神经接口的研制奠定了基础.

关键词：神经微电极、柔性基底、聚对二甲苯、微细加工

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分类号：TP212.3;R338(自动化技术及设备)

资助基金：国家973重点基础研究发展规划资助项目2005CB724305, 2005CB724302;中国博士后科学基金资助项目20070410724;上海市科委国际合作专项资助项目8160706000;上海市科委纳米专项资助项目0852nm017000

在线出版日期：2009-12-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共8页

页码：2465-2472