光学加工中高频误差对散射损失比的影响

摘要：

以光学系统主镜为研究对象,分析了中高频误差对散射损失比的影响.根据光学镜面面形误差近似高斯平稳随机过程特征,结合Harvey-Shack散射理论和统计光学理论,建立了光学镜面中高频误差RMS与散射损失比(RSL)之间的数学关系模型,并利用实际加工数据进行了仿真验证.研究表明,RSL随着中高频误差RMS的增加近似呈指数规律增加,同时在聚焦范围内,理论分析与仿真计算结果非常吻合.在中频误差和高频误差RMS值分别＜λ/63时,对RSL的影响均＜1%,结果可为中高频误差的修正提供理论支持.

关键词：光学主镜、中频误差、高频误差、散射损失比、误差均方根

所属期刊栏目：17

分类号：TQ171.68

资助基金：国家重大基础研究项目和国家自然科学基金资助项目50775215

在线出版日期：2009-12-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：2365-2370