MEMS工艺模拟与有限元软件接口的实现

摘要：

微机电系统工艺模拟可在实际加工前预测MEMS器件的实际结构,有利于理解工艺机理,缩短设计周期,减少生产费用.针对目前用于MSMS器件分析的模拟软件尚不能很好地与有限元软件对接的问题,设计了工艺模拟软件与有限元分析软件的接口.通过这个接口,将MEMS工艺模拟所得到的数据经过数据格式的转换导入有限元分析软件(ANSYS)中并建模,使之可以进行诸如机械、热、电等物理参量的分析.在分析了目前关于(曲线)边界轮廓提取的各种方法后,引进了最大圈算法,解决了工艺模拟结果在有限元软件中的模型重构问题,实现了从工艺模拟到有限元分析的无缝对接.提出的接口设计对实现MEMS CAD体系化具有重要的促进作用.

关键词：微机电系统、工艺模拟、有限元分析、接口

所属期刊栏目：17

分类号：TP307(计算技术、计算机技术)

资助基金：the National Hi-Tech Research and Development Program of China863 Program Grant 2007AA04Z342

在线出版日期：2009-08-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：1646-1650