固着磨料加工碳化硅反射镜的实验

摘要：

考虑固着磨料加工工艺其固着磨料与工件相对运动关系固定,有利于精确加工,提出了采用该工艺加工碳化硅反射镜的方法,利用大颗粒金刚石磨料快速加工出了较好的镜面质量.在工艺实验中,分别测得了W7,W5,W3.5,W1.5 固着磨料丸片在特定转速和压力下对碳化硅材料的去除特性.对多组去除量曲线的分析表明,此工艺不仅有着较高的去除率,而且稳定性良好.对表面粗糙度测量的结果表明,使用W7丸片即可获得粗糙度为42.758 am rms的镜面.减小所用丸片的粒度,工件表面粗糙度随之减小,使用WI.5丸片抛光后,最终获得了粗糙度为1.591 nm rms的光滑镜面.实验结果表明,固着磨料加工碳化硅反射镜工艺在粗研、精研、粗抛等加工阶段内可以取代传统的散粒磨料加工工艺.

关键词：碳化硅反射镜、固着磨料、丸片、去除率、表面粗糙度

所属期刊栏目：17

分类号：TQ171.65;TN304.05

资助基金：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所三期创新基金

在线出版日期：2009-06-02（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：771-777