简易低成本柔性神经微电极制作方法

摘要：

提出了一种简单、低成本的植入式柔性薄膜神经微电极的制作工艺和方法.该方法采用光敏型聚酰亚胺(Durimide 7510)代替传统方法中的非光敏型聚酰亚胺或聚对二甲苯作为微电极基质材料,同时设计了一种基于应力集中的凹槽结构以保证所得微电极形状的规整性,且采用了一种基于硅导电性通过电化学腐蚀牺牲层的方法来实现微电极从支撑基片表面的完整自动释放.整个制作工艺简单,仅需两次光刻和两次金属沉积.测试和评价了所制作微电极的表面形貌、电学性能以及生物相容性,结果表明,这种方法大大降低了制作成本并缩短了周期.

关键词：柔性微电极、神经假体、聚酰亚胺、凹槽结构、牺牲层

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分类号：TP212.3;R338(自动化技术及设备)

资助基金：国家重点基础研究发展计划973计划2005CB724305;上海市科委资助项目06XDl4037;0652nm016;上海市应用材料研究与发展项目06SA01

在线出版日期：2007-08-27（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共8页

页码：1056-1063