研究UV-LIGA微电铸电极过程的交流阻抗法

摘要：

在给定的电铸液组分和工艺路线下,运用交流阻抗法研究了微电铸镍结构的电极过程动力学特性.建立了微电铸体系的等效电路,根据实验获得的交流阻抗图和电阻电抗频率响应,分析了搅拌、整平剂对微电铸体系交流阻抗的影响,计算了电极过程的交换电流密度.结果表明,加人十二烷基硫酸钠整平剂数量存在一个使交流阻抗最小的最佳值,大小为3 g/L,在有搅拌、加入最佳量的整平剂时,体系电极过程的交换电流密度为o.171 A/dm2.在微电铸过程中有搅拌、加入适量整平剂使电铸液交流阻抗下降,阴极电流效率提高,可以改善微电铸镍结构的表面性能、致密度和高度均匀性.

关键词：微电铸、交流阻抗法、整平剂、交换电流密度

所属期刊栏目：15

分类号：TQ153.4

资助基金：国家自然科学基金50675025;教育部和大连市留学回国人员科研启动基金

在线出版日期：2007-08-27（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：1049-1055