不同厚度Al滤片对17～33 nm高次谐波抑制的定量研究

摘要：

利用840 1/mm的金膜透射光栅分光和AXUVl00G光电二极管(PD)探测器研究了不同厚度的Al滤片对光谱辐射标准和计量线(U27)球面光栅单色器(SGM)分支17～33 nm波段高次谐波的抑制情况.结果表明,A1滤片厚为400nm时,在17～33 nm波段有较好的抑制效果且能保证探测器的信号强度,高次谐波信号强度分量小于2%.经过探测器量子效率修正后,高次谐波分量小于0.6%,这对多层膜反射率的定标及探测器定标有着重要的意义.

关键词：同步辐射、高次谐波抑制、A1滤片

所属期刊栏目：15

分类号：O434.12(光学)

资助基金：国家自然科学基金10575097;60473133;中国科学院"百人计划";国家重点基础研究发展计划973计划2006CB303102;教育部高等学校博士学科点专项科研基金20060358050

在线出版日期：2007-08-27（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：1016-1020