应用于压电叠堆泵的微位移放大机构

摘要：

提出了一种应用于压电叠堆泵的微位移放大机构,该机构以压电叠堆(积层式压电微位移器)为驱动元件,通过基于三角形放大原理的柔性铰链放大机构,放大压电叠堆的输出位移.同时,设计、研制了实验装置,并在试制样机上对其静、动态特性进行了实验.实验测试结果表明:该机构对压电叠堆输出位移的放大倍数达到5倍,并且该机构具有线性良好、高分辨率、高频响应等特点.由有限元分析得到的固有频率达到了1.8 kHz,实际测量的固有频率为1.5 kHz.

关键词：压电叠堆泵、放大机构、微位移、柔性铰链、三角形放大

所属期刊栏目：15

分类号：TH38;TN384(泵)

资助基金：国家自然科学基金50575093;50605027

在线出版日期：2007-08-06（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：884-888