大尺寸轻型碳化硅质镜体的制造与材料性能测试

摘要：

利用凝胶注模(gel-casting)成型工艺制备了φ620 mm和700 mm×300 mm的碳化硅(SiC)轻型反射镜素坯,经过脱模、干燥、脱脂和反应烧结等工艺,制备了反应烧结SiC(RB-SiC)镜体.镜体经过加工和测试,结果表明:制备的RB-SiC内部结构均匀致密;力学性能和热学性能优异,抗弯强度、断裂韧性和热膨胀系数分别达到了350 Mpa、4.1 Mpa·m1/2和2.67×10-6/K;镜体经抛光后的表面粗糙度RMS值可优于3 nm,适合用于制备空间用大尺寸轻型反射镜.

关键词：凝浇注模、轻型反射镜、反应烧结碳化硅

所属期刊栏目：14

分类号：TH703(仪器、仪表)

资助基金：中国科学院知识创新工程项目

在线出版日期：2006-11-26（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：759-763