光栅平动式光调制器光学特性分析

摘要：

提出了一种基于微光机电系统的可用于投影显示及相关器件的新型光栅光调制器,介绍了其结构、工作原理和加工流程.对器件进行光学分析,优化和仿真,得出器件结构参数与光学特性之间关系.器件的可动光栅占空比e=0.5,光栅常数d=6 μm,长度L=39 μm,宽度w=36 μm,边距w0=1.5 μm时,理论上±1级衍射效率η=37.0%,对比度V=625;可动光栅与下电极在开态和关态时间距分别为0.65 μm和0.78 μm,器件单像素尺寸为51 μm×51 μm.

关键词：微光机电系统、空间光调制器、光栅衍射、光学分析、仿真

所属期刊栏目：14

分类号：TN256;TN761.92(光电子技术、激光技术)

资助基金：Academic Foundation of Chongqing8272;国家自然科学基金60578023

在线出版日期：2006-11-26（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：749-753