悬臂梁阀单腔压电泵设计方法研究

摘要：

给出了悬臂梁阀单腔压电泵的理论分析,根据压电振子与流体耦合的理论,建立了压电泵系统的动态模型.分析了流体质量、输出压力和系统阻尼对压电泵最佳工作频率的影响,认为减小腔体高度可以提高压电泵的最佳工作频率,提高压电泵的稳定性.通过分析压电振子结构参数对变形量的影响规律,确定了振子的最佳结构参数,认为压电陶瓷层与金属基板厚度比取0.45～0.55,直径比取0.8～0.9最佳.研究了压电泵出流形式对压电泵输出能力的影响,认为轴後向出流有利于提高压电泵的输出能力.

关键词：压电泵、悬臂梁阀、压电陶瓷、压电振子

所属期刊栏目：14

分类号：TN384;TH38(半导体技术)

资助基金：国家高技术研究发展计划863计划2002AA404250

在线出版日期：2006-09-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：607-611