新型压电精密步进旋转驱动器研究

摘要：

提出了一种新型的压电精密步进旋转驱动器.该驱动器根据仿生运动原理,以压电陶瓷叠堆为动力源,采用定子内侧箝位的方式和薄壁柔性铰链微变形结构,提高了箝位的稳定性和步进旋转的稳定性.通过静力学有限元分析和动力学分析,较深入地研究了该驱动器的运动特性.研究结果表明,该驱动器具有高频率(40 Hz),较高速度(325μrad/s),大行程(＞360°),高分辨率(1μrad/step),较大驱动力(30 N·cm)等特点,提高了压电精密步进旋转驱动器的驱动性能,在精密运动、微操作、光学工程、精密定位等精密工程领域有广阔的应用前景.

关键词：步进旋转驱动器、压电陶瓷叠堆、定子内侧箝位、薄壁柔性铰链、有限元分析、分辨率

所属期刊栏目：14

分类号：TN384;TH703.6(半导体技术)

资助基金：国家高技术研究发展计划863计划2002AA423150

在线出版日期：2006-09-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共8页

页码：594-601