超精密非球面镜面模具直轴磨削的研究

摘要：

研究了非球面镜面模具直轴超精密磨削技术,给出了非球面镜面模具超精密加工机理、算法原理、软硬件结构、系统实现、工艺分析及实例应用,开发了小型超精密非球面镜面加工系统SGTCAM1.0.研究结果表明,系统原理正确,加工出的非球面光学零部件形状误差在100 nm以下,表面粗糙度在5 nm以下,达到纳米级加工精度.开发的系统使用方便,成本低.

关键词：超精密加工、直轴磨削、单点金刚石切削、非球面镜面模具、计算机辅助制造

所属期刊栏目：14

分类号：TQ171.684

资助基金：国家自然科学基金;国家科技攻关项目85-719-27

在线出版日期：2006-09-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共8页

页码：545-552