大口径高次、离轴非球面干涉测量中投影畸变的标定方法

摘要：

提出了运用干涉仪的Fiducial功能确定干涉仪CCD的测量坐标系与非球面镜面坐标系的对应关系,然后对两者关系进行正交化拟合,从而标定出非球面干涉检验中的投影畸变,并用于某高次、离轴非球面进行干涉检验中的投影畸变标定,拟合精度为1.964 53μm.根据标定结果对干涉测量面形图重构,进行了数控抛光实验,最终面形精度达到均方根值λ/20(λ=0.632 8 μm),证明拟合精度完全满足数控抛光的要求.

关键词：非球面检验、干涉术、Fiducial功能、投影畸变、干涉图重构、标定

所属期刊栏目：14

分类号：TQ171.65;O436.1

在线出版日期：2006-09-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：533-538