基于图像处理的微装配自动调焦系统

摘要：

介绍了一个基于图像处理的自动调焦系统,该系统由光学显微镜、CCD、力矩电机和齿轮传动机构等组成.调焦系统中采用粗/精结合的调焦方法,即首先采用基于Krisch边缘检测算子的清晰度评价函数对被测物体进行粗调焦,并在计算机上采集了包含目标的大致轮廓和边缘的显微图像;然后针对全景图像上的某个目标区域采用基于高频分量的清晰度评价函数进行精调焦,使得显微图像显示出更多的纹理细节.实验中清晰度评价函数算法均采用Windows下的Visual C++实现.实验结果表明,该自动调焦的系统精度可达±4.8μm,基本上满足了微装配任务的调焦精度要求.

关键词：微装配、自动调焦、图像平滑、清晰度评价函数

所属期刊栏目：14

分类号：TH742.9(仪器、仪表)

资助基金：国家研究发展基金2003CB716201

在线出版日期：2006-07-31（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：468-472