折叠弹簧式MEMS水平扭转微镜的设计与分析

摘要：

设计了带有折叠弹簧的静电驱动光开关水平扭转微镜,利用折叠弹簧代替直扭梁,增加扭梁的长度,有效降低微镜驱动电压.微型铰链结构使微镜保持在单一扭转工作模式下,其弯曲模式的影响可以忽略.利用MATLAB 7.0进行仿真分析,获得微镜驱动电压与扭梁长度的关系曲线.利用ANSYS 8.0获得了折叠弹簧式微镜结构的模态分析和谐响应分析结果,其工作模态频率约为1.77 kHz,远低于其他非工作模态频率.微镜结构的谐振频率约为1.8 kHz,能满足MEMS光开关对开关响应时间的要求.

关键词：光开关、微镜、驱动电压、折叠弹簧、有限元分析

所属期刊栏目：13

分类号：TN253(光电子技术、激光技术)

资助基金：重庆市教委资助项目020508;重庆邮电学院校科研和教改项目A2002-36

在线出版日期：2006-03-09（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：81-85