衍射光学元件加工中的对心研究

摘要：

为了解决平凸折衍混合透镜套刻加工中的对准问题,本文设计了一套进行套刻对准的实验路径.以机械轴为参考基准,使掩模板的环带中心和器件球面的对称轴分别与之对准,最终实现套刻过程中掩模板和器件对称轴的对准.最后根据加工实际情况进行了计算,对于口径是92 mm的衍射元件,得到的对准误差为2.125 μm,能够满足系统的要求.采用计算机等辅助手段,可实现亚微米量级的对准精度.

关键词：对准、机械轴、干涉

所属期刊栏目：13

分类号：TH703(仪器、仪表)

在线出版日期：2006-03-09（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

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