基于激光多普勒技术的PZT薄膜压电性能测试研究

摘要：

应用基于激光多普勒技术的微小形变分析方法,并引入数字锁相技术,成功实现了PZT(Pb(Zr,Ti)O3)铁电薄膜的压电性能测试.对商用压电陶瓷在小信号激励下的压电性能测试表明,数字锁相技术的引入能有效抑制系统噪声,并提高激光多普勒系统的位移检测分辨率,使其达到皮米量级.此外,研究了用溶胶-凝胶技术和溶胶-电雾化技术制备得到的PZT薄膜的电压-位移曲线和压电位移"蝴蝶线",实验结果表明:在5 V直流偏置下测得两种方法制备得到的PZT薄膜的d33压电系数分别为218.7 pC/N和215.8 pC/N,相应的标准偏差分别为12.7和28.6.

关键词：PZT铁电薄膜、激光多普勒技术、数字锁相

所属期刊栏目：13

分类号：TN247(光电子技术、激光技术)

资助基金：高等学校博士学科点专项科研项目20030358018;教育部优秀青年教师资助计划

在线出版日期：2006-02-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：658-663