一种中小口径非球面元件数控抛光技术

摘要：

基于自主设计研制的FSGJ-3型非球面数控加工中心,针对口径φ108 mm凸非球面透镜(曲率半径R＝318 mm,k=-3),研究了非球面粗抛光工艺、精抛光工艺、抛光设备、磨料以及相关工艺参数,提出了规范的中小口径非球面加工的工艺方法和新型轮式抛光技术,实现了中小口径非球面元件的数控快速精密铣磨成型,且保证了光学零件具有较高的面形精度.抛光后元件面形精度达到0.306 λ(PV)、0.028 λ(RMS) (λ=0.632 8 μm).满足了在光学系统中使用非球面零件,明显改善像质,提高光学特性,减少光学零件数目,从而简化系统结构,减小系统体积,减轻系统质量的目的.

关键词：非球面透镜、轮式抛光技术、面形精度

所属期刊栏目：13

分类号：TQ171.68

资助基金：中国科学院资助项目60178037

在线出版日期：2005-05-26（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：198-204