压电直线精密驱动器研究

摘要：

提出一种新型的压电直线精密步进驱动器.该驱动器采用仿生运动的原理,以定子主动箝位的方式和双侧薄壁铰链微变形结构,解决了以往压电精密驱动器箝位不牢固、步进频率较低、行程小、分辨率低、速度低、驱动力不稳定等问题.研制的精密直线驱动器能够实现高频率100 Hz,高速度30 mm/min,大行程>10 mm,高分辨率0.05 μm,大驱动力100 N等特点,大幅度提高了压电型步进驱动器的驱动性能.

关键词：压电陶瓷驱动器、定子主动箝位、精密驱动器、双薄壁柔性铰链、大行程

所属期刊栏目：13

分类号：TG1156(金属学与热处理)

资助基金：国家高技术研究发展计划863计划2002AA423150

在线出版日期：2005-03-17（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共8页

页码：65-72