小波变换及其在MEMS谐振器运动轨迹的特征提取中的应用

摘要：

为测量微电机械系统(MEMS)谐振器的动态特性参数,根据MEMS谐振器运动图像的特点,将小波变换应用于MEMS谐振器运动轨迹的特征提取中.基于模糊图像合成技术,利用小波变换对MEMS谐振器的模糊运动图像进行了增强及降噪处理,并结合传统的图像处理方法,提取MEMS谐振器的运动轨迹,最终获得了MEMS谐振器的特性参数,从而可为MEMS器件的设计提供重要参考.实验结果表明,利用小波变换的方法获得了更好的测量精度,测量重复性误差为100nm.

关键词：MEMS谐振器、特征提取、小波变换、模糊图像、图像增强、图像降噪

所属期刊栏目：12

分类号：TH703(仪器、仪表)

资助基金：国家高技术研究发展计划863计划2002AA404090

在线出版日期：2004-06-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：282-286