采用三向光纤照明成像的三维微结构观测系统

摘要：

为弥补普通光学显微镜照明系统的不足,针对一般三维微结构的显微成像,提出并设计了一个可实现实时调节的三向光纤照明成像观测系统.系统采用计算机、D/A卡、驱动电路等硬件以及自主研制的控制软件,实现对任一光源的光强进行稳定连续的实时调节.通过自主设计的机械结构将光源、光纤、耦合头以及显微镜连接为一整体,实现光束入射方向、入射角和入射距离的任意调节.与通常的底部透射光照明系统进行实验比较,成像质量显著提高,不仅可以清晰观察目标对像的表面结构,还能得到立体感强的三维图像.针对面阵CCD显微测量系统的标定和标定误差问题,提出了螺旋微缝标定法.将螺旋测微计两铁钻形成的微缝作为标定的样本,配以适当的观测手段和计算方法,有效地消除或减小了各种误差,提高了系统的标定精度.通过系统标定和测量比较,系统的标定精度达到±0.001 5 μm,测量精度达到±1 μm.实验结果表明,螺旋微缝标定法可以基本满足CCD测量系统标定的要求.

关键词：微电机械系统、照明、电荷耦合器件、显微测量、标定误差

所属期刊栏目：12

分类号：TH703(仪器、仪表)

资助基金：国家自然科学基金50175002;国家高技术研究发展计划863计划2002AA404160;北京市自然科学基金3031001;北京市科技新星计划项目

在线出版日期：2004-06-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：275-281