射频系统中MEMS谐振器和滤波器

摘要：

介绍了目前国内外射频系统中所涉及的静电梳状谐振器、自由梁谐振器、薄膜声体波谐振器、腔结构谐振器、平行谐振器结构HF带通滤波器、折叠梁MF滤波器、分布传输线可调滤波器等MEMS谐振、滤波器件.对这些器件的结构原理、制造方法以及性能指标作了分析.把这些器件的性能指标和目前射频系统中谐振器、滤波器的性能要求进行比较,分析了这些器件的应用前景.最后,对基于MEMS技术的射频谐振器、滤波器发展作出展望.

关键词：微电机械系统、射频系统、谐振器、滤波器

所属期刊栏目：12

分类号：TN713(基本电子电路)

资助基金：重庆市教委资助项目D2002-26;重庆邮电学院校科研和教改项目A2002-36

在线出版日期：2004-04-02（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共8页

页码：47-54