波长移相干涉仪的算法研究

摘要：

叙述了波长移相干涉仪的基本原理,分析了其特点,对传统硬件移相干涉仪和波长移相干涉仪进行了比较,指出了它们的优缺点和应用范围.以美国New Focus公司的可调谐半导体激光器为例,简述了实现波长调谐的硬件.文中将波长移相干涉仪算法分成三类:加权多步波长移相算法、基于傅里叶变换的波长移相算法和多波长算法,对这三类算法进行了较详细的叙述和分析,指出了各自的优缺点和应用范围.基于傅里叶变换的波长移相算法,提出了结合差分运算的适合于台阶测量的新算法,克服了已有算法中需要参考基准和参考面的缺点,提高了算法的实用性.

关键词：相移干涉术、波长调谐、移相算法

所属期刊栏目：11

分类号：TH744.3(仪器、仪表)

资助基金：supported by the "Shanghai technological phosphor"project01QA14021

在线出版日期：2004-02-20（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：560-566