微型光谱仪的发展现状

摘要：

光谱仪是种类繁多、应用极为广泛的一种理化分析仪器,微加工技术的发展和MEMS(微机电系统)、MOEMS(微光机电系统)技术的出现为其微小型化提供了可能性,本文着重就采用新型滤光技术的微型光谱仪、利用光纤制作的微型光谱仪以及集成式光谱仪进行介绍.光谱仪的微小型化是我国微型仪器的一个重要发展方向.

关键词：微光电机械系统、光学纤维、光谱仪

所属期刊栏目：9

分类号：TN744.1(基本电子电路)

资助基金：国家重点基础研究发展计划973计划G1999033107

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：372-376