采用衍射、干涉技术提高光电轴角编码器的测角精度和分辨率

摘要：

光电轴角编码器广泛应用于精密角位置的测量、数控及数显系统中,是国内外研究的热点.采用衍射、干涉技术的光电轴角编码器(简称激光编码器)具有结构紧凑、小型化;分辨率和测角精度高;响应频率高等优点.通过对几种激光编码器的成功方案的深入分析,阐述了这项技术的最新进展和所面临的问题.

关键词：光电轴角编码器、激光编码器、衍射干涉

所属期刊栏目：9

分类号：TN366(半导体技术)

资助基金：中国科学院科研项目

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：260-265