微分相衬干涉显微镜定量测量表面形貌

摘要：

改进了用于定量测量样品表面形貌的微分相衬干涉显微镜系统,对系统中由Nomarski棱镜引起的相位差β的消零工作提出了一种新的方法,实验证明是有效可靠的,并且对样品表面三维形貌重构、截面轮廓比对及系统的测量精度进行了实验研究.

关键词：干涉显微镜、相衬显微镜、形貌测量术

所属期刊栏目：9

分类号：TH742(仪器、仪表)

资助基金：国家自然科学基金59975052

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：226-229