一种新型光纤传感器在精密产品加工中的应用研究

摘要：

利用所研制的新型反射式光纤传感器对精密产品加工中的小台阶、沟槽等进行了测试研究。测试系统充分发挥了激光光纤传感测量方法的突出优点,实现对精密产品的非接触、快速地检测。传感器的高度分辨力可达0.4μm,定位精度可达±2μm。

关键词：光纤传感器、精密加工、激光、非接触检测

所属期刊栏目：9

分类号：TN253(光电子技术、激光技术)

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：139-140