激光直写系统焦斑整形的研究

摘要：

针对激光直写光刻系统设计整形衍射光学元件（DOE），对写入焦斑的整形进行了研究。提出对不同焦距写入物镜下的焦斑，利用同一个DOE加以整形的方法。模拟表明:整形后焦 斑的面形和边缘显著改善，衍射效率高于实用指标，提供一种改善系统分辨能力的有效途径。

关键词：激光直写、光束整形、DOE

所属期刊栏目：9

分类号：TN305.7(半导体技术)

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：14-18