全柔性机构与MEMS

摘要：

柔性机构是一种新型机构。首先描述了柔性机构和全柔性机构的概念及特点,论述了它们与MEMS之间的关系。然后详细介绍了全柔性机构在MEMS领域内包括微装配、微操作等应用背景下的状况及前景。最后就对全柔性机构研究中的几个关键技术问题如机构的分析、设计及加工,柔性铰链的选择与设计,驱动器的选择及设计等进行了探讨。

关键词：柔性机构、全柔性机构、柔性铰链、微型机电系统

所属期刊栏目：9

分类号：ATP23

资助基金：国家自然科学基金50 075010;国家高技术研究发展计划863计划863-512-98-04-26

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：1-5