同心圆光栅二自由度误差测量系统

摘要：

提出了一种基于同心圆光栅莫尔条纹图象处理的超精密二自由度误差测量 （TDFM）方法，介绍了该测量方法的基本原理，包括同心圆光栅莫尔条纹产生机理、三光栅光学系统 原理、影像光学原理以及CCD莫尔条纹图象处理的方法。通过实验对实际测量系统进行了分析与标 定，并将测量结果与双频激光干涉仪进行了比较。结果表明该测量方法可实现超精密二自由度的 误差在线测量及补偿，测量精度优于0.1μm。

关键词：同心圆光栅、莫尔条纹、图像处理、CCD、二 自由度误差测量

所属期刊栏目：8

分类号：O436.1(光学)

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：91-95