激光直写设备调焦伺服控制系统的研究

摘要：

精密调焦伺服控制技术属于激光直写设备中的关键技术之一。简要介绍了二元 光学激光直写设备的工作原理,分析了调焦伺服实现的方法，重点分析了由电机与压电陶瓷 构成的大范围二级调焦伺服系统的工作原理。提出了采用两点探焦法解决刻划时焦点的跳动 问题，采用归一化处理消除光强波动对调焦精度的影响。最后,给出经过这些方法改进后的 调焦特性曲线.

关键词：二元光学激光直写设备、二级调焦系统、两点探焦法、归一化处理

所属期刊栏目：8

分类号：TP272(自动化技术及设备)

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：79-82