软光刻技术

摘要：

本文介绍了国外新出现的微结构制造技术--软光刻技术,它提供了一种方便的、有效的和低成本的微米、纳米尺寸微结构的制造方法.讨论了软光刻的几个关键技术:自组织形成的单层有机膜、弹性模、微印刷技术、再铸模、微传递成模、毛细管成模、溶剂辅助成模.并且阐述了软光刻技术在光刻技术难以实现的拓扑结构、材料以及分子尺寸领域上的应用.

关键词：软光刻、微结构制造、纳米技术

所属期刊栏目：24

分类号：TP212.3(自动化技术及设备)

资助基金：国家自然科学基金69871025,30070218;浙江省自然科学基金600113,699014

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：134-137,141