光学自动检测技术在批量高密度板极电路中的应用

摘要：

光学自动检测是对板极电路改进制造工艺和提高制造质量重要手段，利用先进的光学自动检测技术是对高密度板极数字板生产质量的有力促进，加强检测环节新技术应用也是提高生产效率重要组成部分。

关键词：光学自动检测技术、高密度板极电路

分类号：TN41(微电子学、集成电路（IC）)

在线出版日期：2014-06-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共2页

页码：89-89,84