基于微机电系统的薄膜体声波谐振器技术

摘要：

随着我国无线通讯的飞速发展，通讯器件的微型化、低功耗、低成本、高性能与集成化等越来越受人们关注。基于微机电系统的薄膜体声波谐振器技术是实现系统低功耗与微型化的重要技术，薄膜体声波谐振器具有体积小、频率高、换能效率高等诸多优势。为了对基于微机电系统的薄膜体声波谐振器有一个更深层次的认识，文章阐述了薄膜体声波谐振器的基本结构与工作原理，并分析了薄膜体声波谐振器及技术的应用与发展趋势。

关键词：微机电系统、薄膜体声谐振器、技术、原理、应用

分类号：TN015(一般性问题)

在线出版日期：2014-05-24（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共2页

页码：7-8