三氯氢硅合成所产生尾气的回收利用

摘要：

三氯氢硅是一种重要的化工原料，在有机硅行业可用于制备硅烷偶联剂以，它又是生产多晶硅的主要原料等。随着三氯氢硅这种化工原料的广泛使用，产量也在逐年增加。在三氯氢硅的合成过程中，尾气的综合治理成为三氯氢硅合成工艺是否环保节能的标志。只有既节能又环保的处理好合成中产生的尾气，才真正能够做到清洁生产，节约生产。介绍现有几种尾气处理方式，并对比它们之间的优缺点，为技术选型做一定指导作用。

关键词：尾气、氯硅烷、三氯氢硅、氢气、回收利用

分类号：X701(一般性问题)

在线出版日期：2012-12-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共2页

页码：182-182,137