浅谈生产环境对某型光电探测器外观质量的影响

摘要：

随着微电子技术迅速发展,微电子产品的集成度和复杂性越来越高,微电子产品的生产工艺对生产环境的要求日益增高.就某型光电探测器为例,通过分析生产环境的几个主要因素对产品外观质量引起的影响,讨论如何控制生产环境对产品生产的影响,提高产品成品率.

关键词：光电探测器、生产工艺、环境主要因素、外观缺陷、成品率

分类号：TN98

在线出版日期：2008-03-26（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共2页

页码：9-9,19