图形化蓝宝石衬底掺杂渐变GaN肖特基型紫外探测器

摘要：

在图形化蓝宝石衬底掺杂渐变的氮化镓(GaN)外延片上制备了肖特基型紫外探测器.与传统结构器件相比,该器件表现出显著改善的电学和光学特性:(1)室温下,当偏压为-5V时具有极低的暗电流密度～1.3×10-8 A/cm2;(2)在零偏压情况下,紫外/可见光抑制比为～4.2×103,最高的响应度为～0.147 A/W,最大外量子效率为～50.7％,甚至在深紫外波段(250～360 nm)平均量子效率也大于40％;(3)平均开启和关闭瞬态响应常数分别为115 μs和120μs,基本不随偏压变化,且具有很好的热稳定性;(4)零偏压下热噪声限制的极限探测率为～5.5×1013 cm· Hz1/2/W.

关键词：图形化蓝宝石衬底、氮化镓肖特基型紫外探测器、光电特性、热噪声

所属期刊栏目：37

分类号：TN383(半导体技术)

资助基金：国家自然科学基金;江苏省自然科学基金;江苏省自然科学基金;江苏省自然科学基金;普通高等学校研究生科研创新计划

在线出版日期：2017-05-27（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：119-123