基于二维图形学的MEMS节点单元识别算法研究

摘要：

设计了一种MEMS(Microelectronic mechanical system)器件节点单元自动识别的方法,介绍了如何根据工艺和版图信息实现识别的过程,对图形学相关算法进行了详细论述.结合节点单元特征提炼了各种单元的识别规则,并基于此规则实现了具体的识别流程.详细讨论了识别过程中用到的二维图形学相关理论、算法.最后以多种常用MEMS器件为例进行了节点单元类型识别,均获得了正确的结果.

关键词：徽电子机械系统器件、节点法、图形学、识别、矩形、算法

所属期刊栏目：28

分类号：TN402;TN403(微电子学、集成电路（IC）)

资助基金：国家"863"计划资助项目:MEMS系统级设计及与IC设计接口研究项目号,2006AA042302

在线出版日期：2008-12-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：465-470