高亮度LED中ODR反光镜反射率温度特性研究

摘要：

对Al/SiO2、Al/ITO、Au/SiO2、Au/ITO构成的ODR(Omni-directional reflector)结构,对应400～800 nm的不同波长,在不同温度下,对于反光镜的反射率的影响,进行了研究.提出了在460 nm的蓝光波段,Al/SiO2金温度在500～700 K时,反射率会达到最小值,温度在700 K以上时,又到常温值,且略微增加;Al/ITO反射率是随着温度变化单调下降的,因此要在Al反光镜的表面采用Ti/Al/Ti/Au的结构,改善反光镜的特性;620 nm的红光波段,Au/SiO2和Au/ITO的合金温度在700 K时,具有最理想的反射率,且Au/SiO2结构的反射效果要优于Au/ITO结构.用实验的方式进行了验证,分析了可能造成反射率变化的原因.

关键词：退火、反射率、全方位反光镜结构

所属期刊栏目：28

分类号：TN312+.8(半导体技术)

资助基金：国家973计划20000683-02;北京市教委项目2002kj018;北工大博士启动基金kz0204200387;国家自然科学基金60407009;北京自然科学基金4032007

在线出版日期：2008-12-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：396-399