(Pb1-xSrx)TiO3系铁电薄膜的极化反转特性

摘要：

采用磁控溅射技术在Si基底上制备了(Pb1-xSrx)TiO3(简称PST)铁电薄膜,采用双极性、双脉冲方波电压测试了其极化反转特性.测试结果表明,所制备的PST铁电薄膜的电流密度峰值达10-4A/mm2量级,开关时间可达1.0 ms左右,极化反转特性较好,有望未来在Si基集成单片红外探测焦平面阵列研制中加以应用.

关键词：钛酸锶铅、铁电薄膜、磁控溅射、极化反转

所属期刊栏目：28

分类号：O484(固体物理学)

资助基金：教育部光电技术及系统重点实验室资助课题CETD00-09

在线出版日期：2008-12-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：351-354